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    二重腔體薄膜沉積系統建構與應用
    • 電子工程系 /95/ 碩士
    • 研究生: 陳弘哲 指導教授: 范慶麟
    • 於本論文中,由於有機材料對於水氣和氧氣非常的敏感,所以最後的封裝製程將顯的非常的重要,有鑑於此我們設計一連續沈積新製程,將有機材料製作完成後在不送到手套箱,而是直接在同一機台的真空環境下直接進行封裝…
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    • 全文公開日期 2012/07/27 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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